特性:FMR是负性感光抗蚀剂,有较好的耐酸、耐酸性。 FMR的解像性比较好,由于抗蚀剂中的金属离子含量较少,所以适合于半导体管(电晶体)、二极管、IC(集成电路)和LSI(大规模集成电路)等方面使用。
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